No grego antigo, o adjetivo atheos (ἄθεος) formado pelo prefixo grego a-, significando "ausência" e o radical "teu", derivado do grego theós, significando "deus". O significado literal do termo é, então: "sem deus".
A palavra passou a indicar de forma mais direta pessoas que não acreditavam em deuses no século V a.C., adquirindo definições como "cortar relações com os deuses" ou "negar os deuses" em vez do anterior significado de ἀσεβής (asebēs) ou "incrédulo". Modernas traduções de textos clássicos, por vezes tornam atheos como "ateu". Como um resumo substantivo, também houve ἀθεότης (atheotēs), "ateísmo". Cícero traduziu a palavra do grego para a palavra em latim atheos. O uso frequente do termo no sentido pejorativo era encontrado no debate entre os primeiros cristãos e os Helênicos.
Karen Armstrong escreve que "Durante os séculos XVI e XVII, a palavra "ateu" ainda era reservada exclusivamente para a polêmica … O termo "ateu" foi um insulto. Ninguém teria sonhado de pôr-se um ateu." o termo "ateísmo" foi utilizado pela primeira vez para descrever uma crença autoconfessa europeia, no final do século XVIII, especificamente denotando descrença no deus monoteísta abraâmico. No século XX, a globalização contribuiu para a expansão do termo para referir-se à descrença em todos os deuses, embora ainda seja comum na sociedade ocidental descrever ateísmo como simplesmente "descrença em Deus." Mais recentemente, tem havido um movimento em certos círculos filosóficos para redefinir ateísmo como a "ausência de crença em divindades", e não como uma crença em si mesmo; esta definição tornou-se popular em comunidades ateístas, embora sua utilização tenha sido limitada.
